ZEM20臺式掃描電鏡采用更加寬泛的加速電壓,1KV步進(jìn),最高放大 36 萬倍,分辨率可達(dá)5nm。樣品臺減速模式下,弱導(dǎo)電樣品無需噴金也能實(shí)時觀察。超大樣品倉可集成多種原位拓展平臺,滿足不同實(shí)驗(yàn)及檢測需求。
ZEM20臺式掃描電鏡采用更加寬泛的加速電壓,1KV步進(jìn),最高放大 36 萬倍,分辨率可達(dá)5nm。樣品臺減速模式下,弱導(dǎo)電樣品無需噴金也能實(shí)時觀察。超大樣品倉可集成多種原位拓展平臺,滿足不同實(shí)驗(yàn)及檢測需求。
▲真空分隔技術(shù) :采用獨(dú)特真空設(shè)計,電子槍和樣品倉真空分離,換樣時間小于1min。
▲ 超大樣品倉:提供了更大的樣品存儲空間,方便用戶操作。
▲ 超高分辨率:極限放大倍數(shù)達(dá)到36萬倍,分辨率4nm@20kV。
▲ 標(biāo)配減速模式:允許弱導(dǎo)電樣品在不噴金的情況下進(jìn)行觀察。
▲ 倉內(nèi)攝像頭:樣品倉內(nèi)置高清攝像頭,原位實(shí)驗(yàn)時可實(shí)時監(jiān)測樣品原位變化
環(huán)境要求 | AC220V,50Hz,1kW,無需減震臺 |
加速電壓 | 3kV~20kV連續(xù)可調(diào),1kV步進(jìn) |
電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲,一體式聚光鏡,無需手動調(diào)節(jié)物鏡光闌,可選配LaB6燈絲 |
放大倍數(shù) | 25~360000倍 |
分辨率 | 5nm |
探測器 | 二次電子探測器、四分割背散射電子探測器、集成式能譜儀(選配) |
樣品臺 | 三軸:X:60mm,Y:60mm,T:+45 五軸(選配):X:90mm,Y:50mm,Z:25mm,R:360°,T:-10-90° |
超大樣品艙 | 長185mm*寬176mm*高125mm |
真空模式 | 高真空模式:換樣時間30s;低真空模式(選配):1-60Pa自動控制 |
成像模式 | 視頻模式:512x512像素,無需小窗口掃描 快掃模式:512x512像素 慢掃模式:2048x2048像素 圖像格式:BMP,TIFF,JIPEG,PNG |
導(dǎo)航功能 | 光學(xué)相機(jī)導(dǎo)航,艙內(nèi)攝像頭,可實(shí)時觀察樣品艙內(nèi)情況 |
自動功能 | 一鍵自動配置亮度、對比度、自動聚焦等 |
尺寸 | 主機(jī):650x370x642(mm) |
擴(kuò)展功能 | 兼容多種原位功能樣品臺(TEC冷臺、加熱臺、拉伸臺等) |